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　　干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問(wèn)題。

　　作為抽氣設(shè)備的真空泵，隨著工業(yè)需求的不同，有各種方式的真空泵，二十世紀(jì)主導(dǎo)這一技術(shù)范疇的產(chǎn)品是油光滑和密封的泵，這類(lèi)泵排出油霧，嚴(yán)重地污染了環(huán)境；只要少數(shù)工業(yè)的特殊需求，才采用無(wú)油泵類(lèi)或水環(huán)式泵類(lèi)(濕式泵)，這類(lèi)泵的真空度不高，耗水耗能?chē)?yán)重，有干式請(qǐng)求的，不得不采用繁瑣的物理、化學(xué)吸附，冷凝低溫手腕，本錢(qián)很昂貴，如膜式泵，真空度不高，抽速小，吸附泵，不只抽速小，液氮的費(fèi)用很大，總之能直接排入大氣和高真空機(jī)組銜接的泵類(lèi)是各有缺憾，干式泵不適合大工業(yè)應(yīng)用，直到二十世紀(jì)的80年代，一種爪式泵類(lèi)問(wèn)世，但抽速難以做大，制造難度大、本錢(qián)高；另外還有應(yīng)用多葉級(jí)數(shù)停止串聯(lián)的羅茨泵，其缺陷和爪式泵一樣。

　　干式螺桿真空泵是一種容積泵，應(yīng)用一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用，主要應(yīng)用于高純潔的真空工藝過(guò)程，真空度極高，可順應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的才能，特別適用于電子、化工、生物醫(yī)藥、金屬加工、食品加工等范疇。

　　雙螺桿真空泵工作時(shí)，由于兩個(gè)轉(zhuǎn)子相對(duì)高速轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間必需留有一定的間隙以免發(fā)作摩擦。而螺桿真空泵在運(yùn)用過(guò)程中，排氣溫度十分高，這也招致了螺桿真空泵的溫度十分高，形成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間的間隙會(huì)產(chǎn)生變化，影響抽氣效果，嚴(yán)重的會(huì)使其發(fā)作摩擦，最后燒結(jié)卡殼。

　　與現(xiàn)有技術(shù)相比，本適用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

　　1、螺桿轉(zhuǎn)子與螺桿轉(zhuǎn)子之間以及螺桿轉(zhuǎn)子與殼體之間的間隙沿進(jìn)氣端到排氣端的方向依次減小，使螺桿轉(zhuǎn)子穩(wěn)定工作后有足夠的收縮空間，防止螺桿轉(zhuǎn)子卡殼，而且收縮后它們的間隙更小，氣體的走漏量更少，抽真空效果更好。

　　2、螺桿轉(zhuǎn)子采用螺紋小徑均相同，螺紋大徑沿進(jìn)氣端到排氣端方向依次減小的設(shè)計(jì)，既降低了螺桿轉(zhuǎn)子的加工難度，降低了消費(fèi)本錢(qián)，而且在穩(wěn)定工作時(shí)，螺桿轉(zhuǎn)子之間的間隙更小更平均，減少了氣體走漏。

　　螺桿真空泵由于具有清潔無(wú)油、抽速大、振動(dòng)小、噪聲低等優(yōu)點(diǎn)，已成為當(dāng)前大型空間模擬真空系統(tǒng)的首選產(chǎn)品。另外，為了提高真空機(jī)組的抽速和極限真空并相應(yīng)的減小螺桿泵的尺寸，一般都是采用一臺(tái)羅茨泵與螺桿真空泵串聯(lián)構(gòu)成的二級(jí)機(jī)組或二臺(tái)羅茨泵與螺桿真空泵串聯(lián)構(gòu)成的三級(jí)機(jī)組。如果您還有什么疑惑的話，歡迎咨詢(xún)我們！